SK하이닉스 "식각 공정용 스크러버, 온실가스 처리 효율 99%"

경기도 이천시 SK하이닉스 본사. [사진=연합뉴스]

SK하이닉스는 국내 사업장의 식각 공정에 쓰이는 '스크러버'의 온실가스 처리 효율을 99%까지 끌어올릴 수 있는 신기술 개발에 성공했다고 9일 밝혔다.

스크러버는 생산 과정에서 발생하는 부산물을 제거하는 장비로, 다양한 화학 물질이 쓰이는 반도체 공정에서 유해 물질을 정제하고 안전하게 처리한다.

'처리 효율 99%'라는 수치는 온실가스 배출량이 계측기가 측정할 수 있는 최소량 이하로 검출됐다는 의미로, 사실상 배출이 거의 없다는 뜻이다.

이번 성과는 SK하이닉스 탄소관리위원회(탄관위) 12개 분과 중 고효율·저전력 스크러버 도입 분과가 이끌었다.
기존 스크러버에 물을 주입하고 가변출력시스템을 도입해 효율을 개선하고, 신규 베이(Bay)형 스크러버를 개발하는 방식으로 이뤄졌다.

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베이형 스크러버는 온실가스 처리에 필요한 장비 대수를 줄여 전력 사용량과 관리·운영비를 줄이며, 내년 새로운 팹 M15X 오픈에 맞춰 도입될 예정이다.

이번에 개선한 기존 스크러버와 도입 예정인 신규 스크러버는 모두 온난화 유발 효과가 큰 과불화화합물을 분해하는 장비다.

이성수 SK하이닉스 탄관위 스크러버 도입 분과 TL은 “온실가스 직간접 배출량을 줄여 효과적인 방식으로 ‘넷제로 2050’ 목표에 기여했다”고 평가했다.