ASML, '中 맞춤형' 반도체 설비 생산 계획…수출 통제 회피

[사진=로이터·연합뉴스]

세계 최대 반도체 설비업체인 네덜란드의 ASML이 '중국 맞춤형' 설비를 생산하는 것을 계획 중인 것으로 나타났다. 9월부터 시행되는 네덜란드의 반도체 설비 수출 통제를 회피해 중국에 수출하기 위한 궁여지책으로 풀이된다.

5일 대만 IT 전문 매체 디지타임스에 따르면 ASML은 '중국 맞춤형' 심자외선(DUV) 노광장비 생산을 검토 중인 것으로 알려졌다. 이는 구형 설비인 '트윈스캔 NXT:1980Di'을 개조한 것으로, 해당 모델은 네덜란드의 이번 수출 통제 범위에 해당하지 않는다고 매체는 전했다.

해당 설비가 중국에 수출될 경우, SMIC 및 화훙반도체 등 중국 주요 반도체업체들은 계속해서 28나노 생산 설비를 이용할 수 있게 된다. 

앞서 네덜란드 정부는 지난 주 성명을 내고 9월 1일부터 반도체 설비에 대해 수출 통제를 실시한다고 발표했다. 이는 반도체 설비 수출에 앞서 라이센스 취득을 의무화하는 것으로, 직접적으로 거론하지는 않았지만 중국을 겨냥한 조치이다. 더욱이 이번 조치 대상에는 기존에 시행하던 극자외선(EUV) 노광장비뿐 아니라 첨단 기술 비중이 적은 심자외선(DUV) 노광장비 수출까지 포함될 것으로 알려졌다.

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네덜란드의 이러한 조치는 미국의 거듭된 요구에 따른 것으로, 미국은 네덜란드, 일본 등 주요 반도체 설비 강국들에게 대 중국 반도체 설비 수출 통제에 동참할 것을 촉구해왔다. 미국산 부품을 사용한 반도체 장비는 중국에 수출할 때 승인을 받도록 했다.

한편 ASML은 이번 수출 통제 조치는 TWINSCANNXT：2000i 이후의 신형 모델들에만 해당한다고 밝힌 바 있다.