이조원 나노종합기술원장 "12인치 테스트베드 구축해 '소·부·장' 국산화 촉진"

나노종합기술원이 반도체 소재·부품·장비의 국산화 촉진을 위해 중소·중견기업을 지원할 수 있는 '12인치 테스트베드'를 구축한다.

지난 9월 취임한 이조원 나노종합기술원장은 31일 서울 광화문에서 취임 기념 오찬 간담회를 열고 "12인치 테스트베드 구축을 통해 중소기업의 제품개발에서부터 대기업의 최종 구매까지 막힘없이 연계될 수 있는 상호연계 생태계를 조성하겠다"고 밝혔다.
 
이번 테스트베드 구축은 범정부차원의 '소재·부품·장비 경쟁력 강화대책'과 '소재·부품·장비 연구개발 투자전략 및 혁신대책'과 맥을 같이 한다.

국내 반도체산업은 전방산업의 경우 세계 최고 수준이지만 후방산업인 소재·부품·장비의 경우 핵심소재 국산화율은 50%, 장비 국산화율은 20% 수준에 머물고 있다.

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또한 국내 기업에서 개발한 제품의 성능 검증을 위해서는 대기업의 검증기준을 충족하는 12인치 테스트베드가 절실히 요구되지만 검증시설의 부재로 많은 기업들에 해외에 의존하는 실정이다. 중소·중견기업은 시간과 비용을 감수해야 하고 접근성도 취약한 상태인 것이다.

이를 위해 기술원은 총 300평 규모의 청정실과 12인치 실리콘 반도체 전용장비 10여대를 우선적으로 구축할 예정이다. 이후 20nm 패터닝 공정 기술 등 특화공정기술을 확립해 검증시스템을 차질없이 구축해 나갈 계획이다.

특히 실효성 있는 한국형 테스트베드를 구축하기 위해서는 수요기업에서 요구하는 검증 데이터 확보가 필수적이다.

이를 위해서는 핵심 장비인 불화아르곤(ArF) 이머전 스캐너 장비 구축이 필요하다. 기술원이 68개 산학연을 대상으로 조사한 결과 응답자의 93%가 불화아르곤 장비가 필요하다고 답했다. 연간 이용 횟수는 300건 이상의 활용을 예상했다.

그러나 불화아르곤 이머전 신규 장비는 1000억원으로 기술원이 테스트베드를 위해 확보한 예산으로는 턱없이 부족한 수준이다. 이에 기술원은 기업으로부터 유휴장비를 기증받는 방안을 추진 중이며, 타진이 어려울 경우 중고 장비 구입도 염두에 두고 있다.

기술원은 기업 현장의 수요를 반영해 중소·중견 기업의 제품 검증 단계에서 최종 수요기업의 양산단계이 이르기까지 사각지대가 발생하지 않도록 검증 시스템을 구축한다는 계획이다.

또한 기술원은 장기적으로 △기관 경쟁력 강화 △성과 확산 △사회적 가치 실현 △전국 고객 지향 등 4가지를 핵심 경영기조로 삼을 방침이다.

이를 통해 토탈 솔루션을 제공하는 팹 공정 서비스를 추구하며 대전에 나노기술연구 혁신 클러스터 조성, 연구 환경 개선 등을 추진한다.
 

이조원 신임 나노종합기술원장이 31일 취임 기념 오찬 간담회를 갖고 기술원의 12인치 테스트베드 구축에 대해 설명하고 있다.[사진=나노종합기술원]