2일 삼성전자에 따르면 이날 오전 11시 30분께 경기도 화성시 삼성전자 화성사업장 반도체생산 11라인 중앙화학물질공급장치(CCSS)내 배관 철거 작업을 위해 배관을 절단하던 성도이엔지 작업자 3명이 배관밖으로 흘러나온 잔류불산에 노출됐다.
삼성전자 관계자는 "고용노동부의 '11라인 HF 공급장치 사용중지 명령'에 따라 신규 공급장치 설치·전환작업을 하던 중 이같은 문제가 발생했다"며 "작업자 3명은 사내 부속의원에서 1차 검진 후 정밀진단을 위해 2차 사외 병원으로 이송했다"고 설명했다.