반도체 제조장비의 국가표준 추진

2010-07-08 10:15

'반도체 제조장비의 안전지침' KS제정을 위한 공청회 개최

(아주경제 김선국 기자) 정부가 반도체 제조장비의 안전성 확보를 위한 KS 제정을 마련할 방침이다.

지식경제부 기술표준원은 8일 '반도체 제조장비의 안전지침'에 대한 국가표준안을 마련하고 오는 9일 KS 공청회를 개최한다고 밝혔다.

지난해 12월 반도체 제조장비의 안전에 관한 국제표준(IEC)이 제정됨에 따라 조기 국가표준의 도입을 위한 것이다.

현재 국내 반도체 제조를 위한 관련장비 중 핵심장비는 해외 수입 비중이 높고 후공정 및 테스트장비 위주로 국내 장비업체에게 생산하고 있는 실정이다.

그간 제조장비의 안전성 확보를 위해 노동부의 안전인증(S-마크)과 세계반도체장비재료협회(SEMI)의 단체표준, 유럽표준 등을 인용하면서 조금씩 다른 표준이 적용돼 왔다.

'반도체 제조장비의 안전지침'은 국제표준(IEC)에서 제시하는 반도체 제조장비가 갖춰야 할 전기적 안전 요구사항과 반도체 제조장비의 특성에 따른 위험(화학물질, 전리방사선 등)의 주요내용을 포괄적으로 규정하고 있다.

이번 KS제정을 통해 반도체 제조장비의 종합적인 안전요구사항으로 활용될 수 있다는게 기표원의 설명이다.

제조장비의 전기적 안전 요구사항은 비상차단(EMO), 연동회로(인터록) 등 국제표준(IEC)의 주요 내용과 일치토록 했다. 반도체 제조장비에 사용되는 화학물질의 안전관리 요구사항, 전리 및 비전리 방사선에 대한 한계기준 등을 추가해 제시함으로써 장비업체들이 보다 안전한 장비의 설계·제작을 유도하고 있다.

이번 KS 공청회를 통해 관련 산업계 등 전문가의 의견을 폭넓게 수렴해 8월말 국가표준으로 제정할 계획이다.

기표원 관계자는 "반도체 제조장비의 국산화율이 낮은 상황으로 관련 제조장비의 개발에 따른 안전표준의 적용을 유도하는 한편 국내 개발된 반도체 제조장비의 안전성 확보를 통해 국제 경쟁력을 높이겠다"고 말했다.

한편 기표원은 산·학·연의 관련전문가로 구성된 '표준전문위원회'에서 심도있는 검토를 거쳐 지난달 23일부로 KS제정 예고 고시한 바 있다.