삼성전자에 따르면 전날 오후 1시30분께 화성사업장 11라인 외부에 있는 화학물질중앙 공급시설에서 불화수소희석액 공급 장치의 이상이 발견됐다. 이에 관리 운영사인 STI서비스가 밤 11시부터 수리에 들어가 이날 새벽 4시46분에 수리를 완료했다.
그러나 수리작업에 참가한 박모씨는 오전 7시30분께 목과 가슴의 통증을 호소해, 병원으로 이송했으나 사망했다. 회사 측에 따르면 같이 작업한 4명은 병원에서 치료를 받은 뒤 완쾌돼 퇴원했다.
삼성전자는 "이번 사고로 누출된 불화수소희석액은 2~3ℓ로 극히 소량이고 유출시 폐수처리장으로 자동 이송되는 구조여서 회사 외부로 유출될 가능성은 없다"면서 "사고원인을 철저히 조사해 항구적인 재발방지 대책을 마련하겠다"고 밝혔다.