(아주경제 문진영 기자) 테스는 16일 반도체 제조용 챔버 관련 특허권을 취득했다고 공시했다. 회사측은 "반응공간부의 가스, 전자파, 자외선 등 유출이 차단돼 부품 내구성 향상에 용이하다"며 "특허 기술을 적용을 통해 기술 및 원가 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다. agni2012@ajnews.co.kr [아주경제 ajnews.co.kr] 무단전재 배포금지 좋아요0 화나요0 추천해요0 ©'5개국어 글로벌 경제신문' 아주경제. 무단전재·재배포 금지