어플라이드, 반도체 식각공정 2배 향상시킨 '센트리스' 출시

(아주경제 조영빈 기자) 반도체 및 태양전지 장비업체 어플라이드머티어리얼즈(이하 어플라이드)는 30일 반도체 식각 공정 속도를 2배 이상 상승시키고, 에너지 절감을 통해 운영비를 30% 절감하는 식각 장비 ‘센트리스’를 출시했다고 밝혔다.
　
반도체 식각장비란 실리콘 웨이퍼에 전류가 흐를 수 있도록 패턴을 새겨 미세회로를 형성하는 식각공정에서 사용되는 장비다.
　
‘센트리스’는 최대 4개의 챔버를 설치할 수 있었던 기존 플랫폼에 비해 2배 증가한 8개의 챔버로 장비를 설계할 수 있어 공정속도를 두 배 가까이 상승시켰다. 또 효과적인 공간의 활용과 에너지의 절감을 통해 운영비를 약 30% 가량 절약할 수 있다.

　
어플라이드 식각장비 사업부 총괄인 엘리 이에 부사장은 “최상급 마이크로칩 제조에 요구되는 식각공정이 까다로워지고 있다”며 “센트리스 플랫폼은 식각공정에 관한 높은 균일도와 두 배 이상 빠른 공정 속도를 제공하여 우수한 품질을 갖춘 반도체 칩의 생산단가를 획기적으로 낮출 수 있을 것으로 기대된다”고 말했다.