회사측은 "이번 발명은 전력 안정 공급해 균일한 플라즈마를 발생시키는 것에 관한 특허로 반도체ㆍ평판디스플레이(FPD)ㆍ태양전지 장비의 경쟁력 강화에 활용될 것"이라고 전했다.
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(아주경제 정해림 기자) 주성엔지니어링은 고주파전원 공급장치 특허권을 취득했다고 15일 공시했다.
회사측은 "이번 발명은 전력 안정 공급해 균일한 플라즈마를 발생시키는 것에 관한 특허로 반도체ㆍ평판디스플레이(FPD)ㆍ태양전지 장비의 경쟁력 강화에 활용될 것"이라고 전했다.
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회사측은 "이번 발명은 전력 안정 공급해 균일한 플라즈마를 발생시키는 것에 관한 특허로 반도체ㆍ평판디스플레이(FPD)ㆍ태양전지 장비의 경쟁력 강화에 활용될 것"이라고 전했다.
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