[공시]테스, 반도체 제조 관련 특허권 취득
2010-09-16 15:48
(아주경제 문진영 기자) 테스는 16일 반도체 제조용 챔버 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사측은 "반응공간부의 가스, 전자파, 자외선 등 유출이 차단돼 부품 내구성 향상에 용이하다"며 "특허 기술을 적용을 통해 기술 및 원가 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.
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