선진국 독점하던 '마이크로 적외선 센서'... 템퍼스·나노종기원 협업으로 국산화 성공

국내 중소기업이 반도체 테스트베드 기관인 나노종합기술원과 함께 '비접촉식 체온계용 마이크로 적외선 센서'의 양산에 성공했다.

마이크로 적외선 센서란 서로 다른 두 금속의 접촉 부위의 온도 차이에 의해 열기전력이 발생하는 원리를 이용해 인체감지에 유리한 원적외선(8~14㎛대)을 검출하는 실시간 온도 측정 센서를 말한다.

17일 과학기술정보통신부에 따르면, 코로나19 방역을 위한 비접촉식 온도측정 수요가 폭증하면서 템퍼스는 나노종기원과 체온계용 적외선 온도센서의 대량양산 기술 개발을 공동으로 추진했다.

이번에 양산에 성공한 비접촉식 온도 측정용 적외선 센서는 국내 최초로 반도체 호환공정을 적용해 높은 수율을 확보하고, 공정단순화로 가격경쟁력을 획기적으로 높인 것이 특징이다.

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마이크로 적외선 센서 시장은 그동안 미국, 독일 등 해외 선진국이 사실상 독점해 왔다. 이에 템퍼스와 나노종기원은 공동개발을 통해 미세기계전자시스템(MEMS) 기반 공정에 반도체 제조공정(CMOS)을 접목해 생산성을 확보했고, 경쟁사 대비 감도가 3~5배 우수한 제품을 완성했다.

최근 코로나19로 인한 방역에 필수적인 비접촉식 체온계의 수요가 폭발적으로 증가함에 따라 중국 등 아시아, 미국, 유럽 등 해외에서 구매문의가 크게 늘고 있는 추세다. 이미 500만개의 온도센서를 국내외 체온계 제작기업에 납품했고, 지난 15일에는 온도센서와 독자 제작한 비접촉식 체온계에 대해 미국 식품의약국(FDA)의 공식 인정을 받아 본격적인 미국 수출을 준비하고 있다.

신백규 템퍼스 대표는 "적외선 영역 1~25㎛ 파장대까지 검출할 수 있는 템퍼스의 적외선 센서 기술력과 반도체 및 센서 공정기술지원이 가능한 나노종기원의 협업을 통해 제품 양산이 가능하게 됐다. 앞으로 국내외 비접촉 체온계시장을 적극 공략할 계획이다"고 말했다.

한편, 나노종기원은 자체 개발한 핵심공정기술을 중소 센서기업인 트루윈에 이전하고, 공동으로 양산기술을 개발한 후 양산단계까지 지원했다. 이를 통해 지난 3월에 '적외선 열영상 센서' 상용화에 성공한 바 있다. 이를 통해 트루윈은 올해 약 145억원의 매출이 예상된다.
 

[사진=나노종합기술원 CI]