10일 니혼게이자이신문에 따르면 모리타화학공업은 지난 8일 일본 정부의 허가를 받아 반도체 생산에 사용되는 고순도 불화수소(액체)를 한국에 수출했다.
일본 정부는 지난해 7월부터 불화수소, 플루오린 폴리이미드(불화 폴리이미드), 포토레지스트 3가지 품목에 대해 한국 수출 규제를 강화해왔다. 모리타화학은 지난해 12월 24일 수출 허가를 얻었다. 고순도 불화수소는 액체 상태로 반도체 웨이퍼 세정에 사용된다.
현재 고순도 불화수소는 모리타화학과 스텔라케미파 등 일본 제품이 세계시장의 80~90%를 점하고 있다. 스텔라케미파는 지난해 하반기 일본 정부의 허가를 받아 액체 고순도 불화수소를 한국에 수출한 것으로 알려졌지만 당시 회사는 "수출 허가를 받았는지 확인해줄 수 없다"고 했다.
모리타화학은 한국 시장의 3분의1을 점하고 있다. 삼성전자, SK하이닉스 등 반도체 생산 기업에 공급하고 있었다. 모리타 야스오 사장은 지난해 니혼게이자이신문과의 인터뷰에서 "(수출 관리의 강화는) 일본 기업의 시장 점유율을 하락시킬 것"이라고 우려했다.
일본 수출 규제에 대응해 한국 정부와 기업은 국내외에서 대체품을 개발하고 있다.
산업통상자원부에 따르면 글로벌 화학소재 기업 듀폰은 '극자외선(EUV)용 포토레지스트' 생산 공장을 국내에 건설할 예정이다. 한국 정부는 공장 유치를 위해 투자 부지를 외국인투자지역으로 지정하고 임대료를 감면하는 등 인센티브를 제시했다.
EUV 포토레지스트도 JSR, 신에쓰, 도쿄오카공업(TOK) 등 일본 기업이 세계 시장의 90% 이상을 점유하고 있다.
니혼게이자이신문은 "기술적인 문제도 있어 조기에 대폭 대체하기는 어려울 것으로 보이지만, 모리타화학 담당자는 '수출량이 이전 수준으로 회복될지는 예상할 수 없다'고 했다"고 보도했다.
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일본 수출 규제 품목 중 하나인 '불화수소'[사진=연합뉴스]