인테그리스, 가스 정제 신규 플랫폼 '게이트키퍼 GPS' 도입

[사진=인테그리스 제공]

아주경제 문지훈 기자 = 특수화학물질 및 첨단 소재 솔루션 업체인 인테그리스(Entegris)는 반도체 및 LED 응용 분야의 웨이퍼 수율을 개선하는 첨단 가스 정제용 플랫폼 '게이트키퍼(GPS)'를 신규 도입했다고 8일 밝혔다.

게이트키퍼 신규 제품군은 새로운 정제 미디어를 사용해 최고 등급의 가스 정제도를 제공한다. 첨단 노드용 반도체 공정 및 LED 제조는 공정 가스에서 발견되는 결함 유발 오염 물질을 제거하기 위해 더욱 높은 순도를 요구한다. 게이트키퍼 GPS 시스템군은 가스 기류 내 여러 오염 물질을 1조분의 1 수준으로 제거한다.

또 기존보다 장비 크기를 줄여 추가 시스템을 통해 정제 유량을 늘릴 수도 있다.

클린트 해리스(Clint Harris) 인테그리스 초미세 오염 관리 사업 부문 수석 부사장은 "새로운 게이트키퍼 GPS 시스템군은 수율을 극대화하는 데 필요한 첨단 솔루션을 제공한다"며 "이러한 새로운 기술의 도입에 발맞춰 북미와 아시아에 설비 투자를 지속해 글로벌 서비스와 제조 수용력을 확대할 것"이라고 말했다.

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