아주경제 이규진 기자 = 에스엔유는 간섭계를 이용한 진동측정방법에 대한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다. 이 특허는 디스플레이 제조장비 등에 사용될 예정이다.관련기사에스엔유 주가 13%↑...삼성전자 이슈 때문? 뭐길래에스엔유, 열처리장치 관련 특허 취득 #간섭계 #에스엔유 #진동측정방법 좋아요0 화나요0 추천해요0 ©'5개국어 글로벌 경제신문' 아주경제. 무단전재·재배포 금지