김대식·박남규·오상현 교수 연구팀, 테라헤르츠파 1억배 증폭 나노기술 개발

김대식 교수

아주경제 이한선 기자= 국내연구진이 테라헤르츠파를 1억배 증폭하는 나노기술을 개발했다.

미래창조과학부는 김대식 서울대학교 물리천문학부 교수, 박남규 전기컴퓨터공학부 교수, 오상현 미 미네소타대학교 전기컴퓨터공학부 교수 연구팀이 효용성이 높은 밀리미터 파장의 테라헤르츠파를 1나노미터 구멍에 집속하는 데 성공했다고 9일 밝혔다.

이번 연구 성과는 단일분자의 검출 또는 1나노미터 리소그래피 같은 테라헤르츠파 나노기술의 발판이 될 것으로 기대된다.

테라헤르츠파는 투과성을 가지고 파장이 길지만 에너지가 낮아 생체 세포에 안전해 병리조직 진단이나 분자검출, 위험물 또는 마약의 탐지 등에 활용되는 등 연구가 활발히 이뤄지고 있다.

리소그래피는 빛 등을 쬐어 사진을 찍듯 회로를 그리는 기술을 말한다.

이번 연구는 미래부와 한국연구재단이 추진하는 선도연구센터지원사업 등의 지원으로 수행돼 연구결과는 네이처 커뮤니케이션즈지 3일자 온라인판에 게재됐다.

테라헤르츠파는 분자간 진동주파수와 같은 주파수대에 있기 때문에 비파괴검사를 위한 광원으로 주목받고 있다.

극소량 분자의 초정밀 검출이나 나노공정 등에 응용하기 위해서는 테라헤르츠파를 좁은 영역 안에 강하게 집속해야 해 나노미터 수준의 구조를 제작하는 것이 관건이었다.

연구팀은 지난해 11월 수십 나노미터 크기의 갭에서 테라헤르츠파가 증폭됨을 관측하고 증폭된 테라헤르츠파를 이용해 극소량의 폭발물을 검출하는데 성공하고 이를 학술지에 보고했다.

이번 연구에서는 갭의 크기를 줄이고 테라헤르츠파 빔 크기에 맞게 나노 갭들을 수 ㎟ 면적만큼 반복 배열해 4인치의 웨이퍼에 대면적으로 1나노미터 갭 배열구조를 만들었다.

격자 모양으로 패턴된 금속표면에 테라헤르츠파가 투과할 수 있는 1nm 두께의 얇은 막을 증착시킨 후 그 위에 다시 금속을 증착하고 접착테이프를 이용해 나중에 증착된 금속층만을 떼어내 투과를 차단하는 금속층과 투과층이 번갈아 가면서 나타나도록 제작했다.

연구팀은 제작한 1나노미터 갭 배열구조 내부에서 테라헤르츠파의 세기를 1억 배 이상 증폭시키는 데 성공했다.

갭 이외의 금속은 테라헤르츠파의 투과를 차단해 마치 깔대기를 통과하듯 테라헤르츠파가 갭 내부로 강하게 집속되는 현상을 이용했다.

테라헤르츠파의 증폭기술은 단일분자 검출이나 1나노미터 수준의 리소그래피 등을 개발하는데 크게 기여할 것으로 기대된다.

김 교수는 “이번 연구처럼 전기장의 집속, 증폭 등의 특성을 갖는 구조와 현상을 이용한다면 1나노미터 리소그래피, 초고감도 센서, 초비선형 현상 등의 분야가 크게 발전할 것”이라고 밝혔다.