[특징주] 켐트로스, 삼성전자 무기물 포토레지스터 도입 소식에 개발 협력사 '부각'
2024-03-05 10:01
5일 오전 9시 40분 기준 켐트로스 주가는 전일 대비 400원(5.06%) 오른 8300원에 거래되고 있다.
이날 한 언론 매체 보도에 따르면 중국 국가지적재산권국(SIPO)은 지난달 삼성전자의 '극자외선을 이용한 레지스트 패턴 형성 방법 및 이를 마스크로 이용한 패턴 형성 방법(특허번호 CN117518728A)'에 대한 특허를 승인했다.
이 특허는 금속산화물질 기반 무기화합물 포토레지스트를 사용하는 것이 특징으로 무기물 포토레지스트를 도포한 뒤 극자외선(EUV)에 노출시켜 기판에 회로를 새기는 방식이다.
무기물 포토레지스트는 유기물 대비 분자 크기가 훨씬 작고 빛 흡수율이 높아 미세한 패턴 구현에 유리하다. 동일한 조건에서 시간당 더 많은 웨이퍼를 처리할 수 있어 3나노미터(㎚) 이하 초미세 반도체 공정의 '게임체인저' 소재로 불린다.
삼성전자의 무기물 포토레지스트 도입은 이번이 처음이다. 특허 출원을 통해 핵심 기술을 선제적으로 확보, 선단 공정에 무기물 포토레지스트를 적용하기 위한 준비에 돌입한 것으로 풀이된다. 이와 함께 무기물 포토레지스트 개발에 있어 삼성SDI와 협업도 하고 있다.
이 같은 소식에 삼성전자의 EUV 포토레지스트 개발 협력에 참여한 켐트로스가 조명받고 있다. 켐트로스는 광개시제(PI)를 생산하는 회사다. PI는 반도체 생산에 필수인 포토레지스트의 핵심 소재다. 개시제 수율이 포토레지스트 성능을 좌우한다는 점이 부각되면서 켐트로스에 매수세가 몰리고 있다.