<공시> 탑엔지니어링, 척 구조체 반도체기판 처리 장치 특허
2013-06-07 10:52
아주경제 장슬기 기자= 탑엔지니어링은 척 구조체 및 이를 이용한 반도체 기판 처리 장치에 대한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.
회사 측은 “증착 장비의 경쟁력 강화에 활용할 예정”이라고 밝혔다.
아주경제 장슬기 기자= 탑엔지니어링은 척 구조체 및 이를 이용한 반도체 기판 처리 장치에 대한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.
회사 측은 “증착 장비의 경쟁력 강화에 활용할 예정”이라고 밝혔다.