<공시> 로체시스템즈, 기판 가공장치 관련 특허권 취득 2013-05-31 13:51 아주경제 박선미 기자= 로체시스템즈는 정전척 및 이를 갖는 기판 가공 장치 관련한 특허권을 취득했다고 31일 공시했다. mei@ajunews.com ©'5개국어 글로벌 경제신문' 아주경제. 무단전재·재배포 금지