테스, 웨이퍼 이송로봇 특허권 취득
2010-02-25 15:15
테스는 웨이퍼 이송로봇 및 이송방법에 대한 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.
회사측은 “반도체장비 제조시 특허기술을 적용해 경쟁력을 강화하겠다”며 “기술경쟁력과 원가 경쟁력도 향상될 것”이라고 설명했다.
아주경제= 심재진 기자 jjsim@ajnews.co.kr
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