위드텍 주가 11%↑...웨이퍼 표면 오염물질 모니터링 장치 특허
2021-05-18 15:11
18일 한국거래소에 따르면 오후 3시 9분 기준 위드텍은 전일대비 11.54%(3000원) 상승한 2만9000원에 거래되고 있다.
위드텍 시가총액은 1487억원이며, 시총 순위는 코스닥 667위다. 액면가는 500원이다.
위드텍은 지난 3월 '기판 검사기 시료 용액 샘플링 방법 및 그 장치' 관련 국내 특허를 취득했다.
이번 특허는 반도체 웨이퍼와 같은 기판을 검사하기 위한 기판 검사기에서 시료 용액을 채취하는 방법과 그 장치에 관한 것으로, 기판 불순물 검사를 위해 기판을 회전 이동시키면서 외표면에 시료 용액 방울을 점적해 부착시키고, 불순물을 용해, 검사를 위해 기판 표면에 부착된 시료 용액을 회수할 때 활용 가능하다.
당사 웨이퍼 표면의 오염 물질 모니터링 자동화 설비에 활용할 계획이다.