아주경제

공시]에스엔유, 간섭계 이용 진동측정방법 특허 취득

2015-07-22 14:28

아주경제 이규진 기자 = 에스엔유는 간섭계를 이용한 진동측정방법에 대한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다. 이 특허는 디스플레이 제조장비 등에 사용될 예정이다.