경기도는 미국을 방문 중인 남경필 지사가 29일(현지시간) 버지니아주 알링턴 카운티 힐튼 크리스탈 시티 호텔에서, 웨인 미첼 에어프로덕츠 수석부사장과 이같은 내용을 담은 투자협약서에 서명했다고 30일 밝혔다.

협약에 따라 에어프로덕츠사는 향후 5년간 1천만 달러(한화 100억 원)를 투자해, 평택 오성 외국인투자지역에 9917㎡(3000평)규모의 신규 공장을 지을 예정이다.

에어프로덕츠사는 지난해 9월 화성시 능동에 7천만 달러 규모의 투자결정을 한 데 이어,평택에도 추가 투자를 결정한 것이다.

에어프로덕츠는 내년 상반기까지 공장 준공을 완료할 계획인데,신규공장에 최첨단 제조방식을 도입해 반도체 공정 미세화에 필수적인 반도체 특수가스를 생산할 예정이다.

도 관계자는 “이번에 도입되는 첨단기술은 기존 실리콘보다 전도율이 높은 사수소화게르마늄(GeH4)을 사용한 최첨단 제조방식”이라며 “미국과 대만 중국 등과 경쟁속에서 투자를 유치해, 세계 최초로 경기도에서 양산화가 시작된다는데 큰 의미가 있다."고 설명했다.

또한 "수입 제품의 국산화로 10년간 약 5천만 달러 규모의 수입대체 효과를 기대하고 있다."고 덧붙였다.

이날 남경필 지사는 "향후 SK하이닉스를 비롯해 국내 반도체업계의 메모리칩 분야에서도 추가 수요가 있을 것”이라며 “공장 설립에 필요한 행정절차가 속하게 처리될 수 있도록 최대한 지원할 것”이라고 했다.

에어프로덕츠는 1940년 설립한 산업용 가스와 설비 제조 기업으로 전 세계 50개국에서 연간 100억 달러 규모의 매출을 기록하고 있다. 국내 10개 공장에 700명 이상의 직원을 고용하고 있는데,그 중 5개가 시화 반월 기흥 화성 평택에 자리잡고 있다.