[공시]테스, 플라즈마 처리장치 관련 특허 취득

(아주경제 문진영 기자) 테스는 플라즈마 처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 24일 공시했다. 회사측은 이번 특허는 반도체식각장비와 관련된 것으로 장비 제조 및 개발에 활용하면 기술경쟁력 및 원가경쟁력 향상이 기대된다고 밝혔다. 

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